金融界2025年1月4日讯息,国度学问产权局信息显现,连科半导体有限公司获取一项名为“一种立式双片8寸碳化硅外延炉”的专利,授权公告号CN 222251125 U,央求日历为2024年4月。
专利纲领显现,本实用新式是立式双片8寸碳化硅外延炉,其结构是机械手和转运仓位于外延炉骨子下方,外延炉骨子包括石英桶,石英桶顶部设有供响应气体通入的石英方管,石英桶侧壁上均匀绕设有线圈,内壁设保温层,石英桶两侧折柳相对设有电机,电机输出端一语气陶瓷旋转轴外端,陶瓷旋转轴按序穿过线圈、石英桶和保温层蔓延至石英桶中心,陶瓷旋转轴内端放手有装载外延片的载盘,载盘置于石英桶中心的半月型热场上。使命时机械手将带有外延片的载盘置于半月型热场上,响应气体通过石英方管参与使命时,两侧电机带动驾御两载盘同步启动。本实用新式的优点:可有用提高衬底旋转速率,并可精准适度旋转精度,有用镌汰外延片残障,一腔双片的结构可使产能成倍普及。
天眼查资料显现,连科半导体有限公司,建筑于2023年,位于无锡市,是一家以从事专用征战制造业为主的企业。企业注册老本11312.5万东说念主民币,实缴老本10000万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,连科半导体有限公司共对外投资了1家企业,学问产权方面有商标信息14条,专利信息69条,此外企业还领有行政许可5个。
本文源自:金融界
作家:谍报员/阅读下一篇/复返网易首页下载网易新闻客户端体育游戏app平台