金融界2025年1月4日音尘,国度学问产权局信息知道开yun体育网,连科半导体有限公司赢得一项名为“一种水平式碳化硅外延炉上半月热场结构”的专利,授权公告号CN 222251124 U,请求日历为2024年4月。
专利摘录知道,本实用新式是一种水平式碳化硅外延炉上半月热场结构,其结构包括自上而下挨次建树的上半月热场、衬底地点腔室、下半月热场,在上半月热场下端面衔尾进气口处均布建树多少细巧的气孔,气孔地点处对应的上半月热场内底部上方平行设有阻遏板,输入氩气气流的导管端部连通气孔与阻遏板之间的上半月热场侧壁。水平氩气气开通过导管插足气孔与阻遏板之间空间内时,通过气孔流向衬底地点腔室酿成细巧气帘,使参与反映的源气层流向下移,进而减少上半月热场下端面千里积产生,阻遏板可有用对消气孔导致的温度变化,使上半月热场、下半月热场温度远隔相对均匀。可有用延迟卧式炉讴歌周期,擢升卧式炉产能。
天眼查贵寓知道,连科半导体有限公司,诞生于2023年,位于无锡市,是一家以从事专用开发制造业为主的企业。企业注册成本11312.5万东谈主民币,实缴成本10000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,连科半导体有限公司共对外投资了1家企业,学问产权方面有商标信息14条,专利信息69条,此外企业还领有行政许可5个。
本文源自:金融界
作家:谍报员/阅读下一篇/复返网易首页下载网易新闻客户端开yun体育网